Lens Arrays

14
Technology

通称「フライアイレンズ/インテグレータレンズ」

露光装置やプロジェクタでは、フライアイレンズを使った光学系を用いることで照度ムラが打ち消され照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られます。

特徴

対応可能スペック/応用分野
対応可能スペック/応用分野
接合方法:低融点ガラスフリット / UV接着
レンズサイズ:角3.0mm~60mm R=設計値 両凸レンズまたは平凸レンズ
フライアイサイズ:角20mm~400mm (別途ご相談)
ARコーティング:UVからIRまで広帯域の任意波長で対応可能
応用分野・装置:液晶パネル露光装置 / 半導体露光装置 / 光学検査用光源装置