レンズアレイ

阵列透镜

【応用分野・装置】
液晶パネル露光装置、半導体露光装置、光学検査用光源装置
【材質】
石英、 BK7
【接合方法】
低融点ガラスフリット、UV接着
【レンズサイズ】
3.0mm~60mm角 R=設計値 両凸レンズまた 平凸レンズ
【フライアイサイズ】
20mm~600mm角
【ARコーティング】
UVからIRまで広帯域の任意波長で対応可能


通称:フライアイレンズ・インテグレータレンズ

露光装置やプロジェクタでは、フライアイレンズを使った光学系を用いることで照度ムラが打ち消され照射面で周辺部まで均一で明るい照度分布が得られます。光学検査用光源装置では、照度分布の均一性だけでなく、レンズのキズ、汚れも厳しい仕様をクリアしなければなりません。ジャパンセルは、世界最大級の液晶パネル用露光装置向けのフライアイレンズ 600x600mmクラスを供給しています。更に第9世代以上の大型ガラス基板用フライアイレンズにも対応します。
弊社では、単レンズの製作からレンズ接合、ARコートも顧客先の要望により任意の400~1064nmの波長でマルチコートなど一貫した自社生産を行いフライアイレンズの品質としては、世界最高水準をお約束します。